射频功率源及其功率传输耦合基础研究平台主要用于开展用于离子源的射频功率源小型化与智能化、功率传输和馈入及功率耦合等关键技术开展研究，研究方向主要包括小型化高效率智能功率源、射频隔离、匹配网络及调谐、多驱动射频离子源放电和射频线圈及耦合效率等关键物理与工程技术问题研究。该平台主要包括50kW射频功率源、阻抗匹配箱、假负载、RF驱动器及相关诊断系统等。
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