HIDEN ESPion朗缪尔探针系统

2020-12-21 | 作者：guanli | 来源：本站 | 【打印】【关闭】

高精度等离子体诊断系统，可以实现DC/RF等离子体的参数诊断，具体包括：等离子体中的电子密度、电子温度、离子密度、空间电位、EEDF和悬浮电位等参数的空间分布和上述参数随时间的演化。

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HIDEN ESPion朗缪尔探针系统参数

参数名称	参数
探针长度	探针杆长度≥400mm，自动驱动距离≥300mm，提供软件控制，步进≤1mm，驱动速度≥10mm/s
扫描电压范围	-200V to +100 V
探针直径	≤ 8 mm
探针芯直径	≤ 1 mm
电流范围	20μA-1A
分辨率	≥12 bits
采样速度	12 scans/s
采样数据速度	≥60000 points/s
测量密度范围	10¹⁴-10¹⁹m^-3
测量温度范围	0.2eV-10eV

联系人：许永建

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