仪器设备

HIDEN ESPion朗缪尔探针系统

2020-12-21 | 作者:guanli | 来源:本站 | 【打印】【关闭】

高精度等离子体诊断系统,可以实现DC/RF等离子体的参数诊断, 具体包括:等离子体中的电子密度、电子温度、离子密度、空间电位、EEDF和悬浮电位等参数的空间分布和上述参数随时间的演化。

QQ图片20201221142310.png

HIDEN ESPion朗缪尔探针系统参数

参数名称

参数

探针长度

探针杆长度≥400mm,自动驱动距离≥300mm,提供软件控制,步进1mm,驱动速度10mm/s

扫描电压范围

-200V to   +100 V

探针直径

8 mm

探针芯直径

1 mm

电流范围

20μA-1A

分辨率

12 bits

采样速度

12 scans/s

采样数据速度

60000 points/s

测量密度范围

1014-1019m-3

测量温度范围

0.2eV-10eV

联系人:许永建